（1）精密平面磨床的液压缸、活塞杆上侧母线与床身导轨、工作台导轨的平行度超差。应按装配要求校正液压缸、活塞杆上侧母线与床身、工作台导轨的平行度误差。

　　（3）床身、工作台导轨磨损或配刮接触点不均匀，接触点数过少。应检查床身，工作台导轨的接触点及表面粗糙度，要求：刮削接触点＞16点/（25mm×25mm），表面粗糙度值达Ra1.6μm。

　　（4）活塞与液压缸间隙过大，有渗漏。应配作活塞，要求与液压缸间隙在0.04~0.06mm之间。